半導體 | 光學缺陷檢測
02 缺陷檢測產品 晶諾微缺陷檢測設備 PULSAR 系列包括 L 系列和 H 系列，PULSAR L 系列及 PULSAR H 系列是應用于電子、半導體工業領域的如 WLP（晶圓***封裝）、PLP（面板***封裝）、晶圓制造前端工藝等，可實現從低分辨率到高分辨率的缺陷檢測、分
● 測量速度快，產能可以到 6pcs/hr（6inch，0.2um● 設備穩定性和可靠性高;
復查;
● 亞像素的分辨率（1/10 像素）;
2）產品規格
● 高速 TDI 線陣掃描；● ● 高分辨率：分辨率低至 0.5um ；
● 高精度，XY 重復性 ±0.5um
(文章來源于儀器網)
