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TESCOM減壓閥12系列是微型超高純度IGS / VCR減壓調節(jié)器。 12系列提供5 Ra或10 Ra微英寸的表面光潔度，系緊膜片和內部無彈簧和無螺紋設計。 它提供的入口壓力為150 psig / 10.3 bar，出口壓力為250 mm Hg-15、30、60、100 psig / 250 mm Hg-1.0、2.1、4.1、6.9 bar，流速 高為120 SLPM。 適用于OEM工具，氣箱和低壓氣柜。

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