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分辨率

1.0nm@25kV,<2.0nm@1kV,WD2mm(Through-lens detector)               

加速電壓

0.1kV – 30kV連續(xù)調(diào)節(jié),步長100V                                          

放大倍數(shù)

<10倍>900,000倍，工作距離和高壓變化時進(jìn)行完全地補償                                                 

電子束流

***高可達(dá)100nA                                                                

光欄選擇

6孔光欄，高精度點擊選擇                                       

探測器

樣品室內(nèi)二次電子探頭

Through -Lens探頭

樣品室內(nèi)BSE探頭

E-T探頭僅用于樣品室高真空操作,幾何位置可調(diào)整                             

DELPHI Through –Lens上位SE/BSE探頭                                      

羅賓遜/4分割固體背散射電子探頭                                         

真空系統(tǒng)

TMP(渦輪分子泵)+2個離子泵，高壓和所有電子槍供給全部               

與真空互鎖                                                          

樣品室尺寸

413mm寬x313mm深x313mm高.                                     

樣品臺移動

優(yōu)中心6軸樣品臺.                                                        

X=100mm，Y=100mm，（Y=150mm，選配），Z=50mm， Z’=10mm              

Tilt=-5～+90°， Rot=360°                                              

樣品臺載重

承載樣品的重量超過5公斤                                                 

樣品室接口

14個                                                                   

防震系統(tǒng)

自動水平傳感器的氣墊裝置                                                  

自動特性

自動聚焦,消像散,亮度和對比度調(diào)整. 自動電子束對中.自動           

電子束流檢測.真空檢測與調(diào)整                                                           

顯示器

雙顯示器，能形成雙幅橫向工作區(qū)                                     

視頻獲取

圖像處理

6路優(yōu)化像素噪音功能實現(xiàn)雙路獲取                                  

樣品檢查模式帶有轉(zhuǎn)換/掃描圖像定位中心特性                               

全屏注釋和圖像測量功能                                                      

觸停報警裝置

標(biāo)配                                                             

可配附件

EDS,   WDS,   EBSD,   CL， STEM，電子束消隱裝置，激光定位儀，電子槍隔離閥， Fastrac，

光學(xué)顯微鏡，冷臺，熱臺，拉伸臺