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DFC數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
DFC系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器提供可編程的數(shù)字信號(hào)

 

數(shù)字式和模式方式同時(shí)提供
－可編程序的控制流量
－流量控制范圍從0 開(kāi)始到10 sccm 直到0到100 slpm
－最大壓力500 psig (34.5 Bar)
－多點(diǎn)控制可到256 個(gè)單位(為RS-485 選擇)
－存放定標(biāo)數(shù)據(jù)為10 不同氣體
－可編程序的12 個(gè)數(shù)字計(jì)算器表明總氣體容量
－數(shù)字式(RS-232 或RS-485) 并且同時(shí)提供模擬輸出
－內(nèi)部轉(zhuǎn)換最多32種氣體
－自動(dòng)零調(diào)整
－自診斷測(cè)試
 

剛性金屬結(jié)構(gòu)
－流程范圍從0 開(kāi)始到10 sccm 直到0到1000 slpm
－***大壓力500 psig (34.5Bar)
－泄漏率1 x 10-7 氦氣
－NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明 固定
－可傾斜的LCD 讀表
－0-5 Vdc 和4-20 個(gè)mA 信號(hào)輸出
－電路保護(hù)