Aera PI-980穩(wěn)壓型質(zhì)量流量控制器
價(jià) 格：詢價(jià)
產(chǎn) 地：美國(guó)更新時(shí)間：2020-11-03 10:38
品 牌：Advanced Energy型 號(hào)：Aera PI-980
狀 態(tài)：正常點(diǎn)擊量：1366
400-006-7520
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優(yōu)勢(shì)
改善了氣體輸送性能和生產(chǎn)產(chǎn)量
便于在設(shè)備上整合
大幅節(jié)約了氣體面板成本
減小了氣體面板尺寸
提高了安全性
實(shí)時(shí)通信和控制
世界***的服務(wù)和支持
延長(zhǎng)了系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)
特點(diǎn)
穩(wěn)壓運(yùn)行
精確性和可重復(fù)性高
整合式氣體面板組件
現(xiàn)場(chǎng)氣體檢驗(yàn)，多氣體、多范圍配置
現(xiàn)場(chǎng)可編程
DeviceNet? 控制
板上顯示
整合式診斷
全金屬密封
超純?cè)O(shè)計(jì)
產(chǎn)品參數(shù)
其流量范圍范圍分不同的等級(jí)，分別有2sccm至4sccm、5sccm至9sccm、10sccm至30sccm、31sccm至100sccm、101sccm至300sccm、301sccm至1000sccm、1001sccm至3000sccm、3001sccm至10000sccm、10001sccm至30000sccm、30001sccm至50000sccm.
精度:≤±1% of setpoint(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS); 最大工作壓力:100 psiA(690 kPaA)
產(chǎn)品介紹
集熱溫感式 MFC
Aera PI-980系列穩(wěn)壓型質(zhì)量流量控制器
憑借業(yè)界***的流量控制技術(shù)，Aera? PI-980? 系列非壓敏型 MFC（質(zhì)流控制器）可預(yù)測(cè)新***代半導(dǎo)體制造制程不斷增長(zhǎng)的需求，這些制程包括蝕刻、化學(xué)汽相沉積、物理汽相沉積和擴(kuò)散。與先前的技術(shù)或競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手產(chǎn)品相比，這***創(chuàng)新的技術(shù)平臺(tái)提供了更迅速的響應(yīng)、更高的氣體流量穩(wěn)定性、更高的精確度以及***流的實(shí)時(shí)制程控制。較高的流量穩(wěn)定性提供了更好的腔室到腔室制程可重復(fù)性，從而提高了生產(chǎn)產(chǎn)量。
PI-980 MFC 的新***代設(shè)計(jì)將傳統(tǒng)的熱流量架構(gòu)與***個(gè)壓力傳感器、溫度傳感器以及 NeuralStep? 控制技術(shù)進(jìn)行了整合，從而創(chuàng)造了***個(gè)單***而精簡(jiǎn)的輸送包，省去了以往***直需要使用的眾多昂貴的氣體面板組件。多氣體、多范圍功能大幅降低了支持性物品的要求，從而進(jìn)***步提高了成本效率。除了整合式診斷，新***代 MFC 技術(shù)還被整合進(jìn)了我們得到現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的 D980 系列產(chǎn)品平臺(tái)，以延長(zhǎng)系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間，并使故障的發(fā)現(xiàn)和修理變得快速而簡(jiǎn)易。
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