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FMA3100系列 FMA3302 氣體質量流量控制器和流量計 Omega歐米茄

FMA3100系列質量流量傳感器代表著質量流量傳感器技術領域的突破。先進的電子器件、緊湊的機械設計以及批量生產加工理念在這***高性能、低成本的產品中集中體現。氣體流量傳感器適合多種OEM應用。0 ~ 5 Vdc線性輸出作為標準輸出信號。

FMA3200質量流量控制器外形小巧，它利用基本的FMA3100熱式質量流量傳感器提供精確、穩定的氣體流量控制。在斷電模式下，流量控制閥關閉，同時泄漏率***低。這種具成本效益的控制器是眾多OEM應用的理想之選，它提供0 ~ 5 Vdc線性輸出并接收0 ~ 5 Vdc的控制輸入。

FMA3300在FMA3100流量計功能的基礎上增加了***個可調節3位半數字LCD數字顯示儀表，用于查看以工程單位（即mL/min或L/min）顯示的流量。已經證實，這些緊湊型流量計在很多實驗室應用中效果顯著。

FMA3100系列 FMA3302 氣體質量流量控制器和流量計 Omega歐米茄

規格:

輸出： 0 ~ 5 Vdc（最小值2500 ?）

輸入設定電壓 

（僅FMA3200）： 0 ~ 5 Vdc

精度： 滿量程的±1.5%*

重復性： 滿量程的±0.5%

響應時間： 在滿量程的25 ~ 100%范圍大約2秒（常規）達到設定流速的±2%內

工作環境： 10 ~ 50°C (50 ~ 122°F)，無冷凝空氣

工作壓力范圍： 25°C (77°F)時達到最大值150 psi

溫度系數： 每°C為±0.2%

壓力系數： 每psi為±0.02%

泄漏完整性： 對于外界環境，最大值為1x10-4SCCS氦氣

輸入電源：

    FMA3100和FMA3300： 12 ~ 15 Vdc，100 mA (1.5 W)

FMA3200： 12 ~ 15 Vdc，250 mA (3.75 W)

連接口： 流速達到1 L/min時，采用?"壓合接頭；流速達到5 L/min時，采用?" 壓合接頭；流速達到10 L/min時，采用?"壓合接頭

接液材質： 陽極氧化鋁、氟橡膠O形圈、304和316不銹鋼、環氧樹脂、乙縮醛壓合管接頭（標配）

量程比： 10:1

氣體： 大部分潔凈、干燥氣體（例如，空氣、氮氣、二氧化碳、氬氣、氫氣、氦氣、甲烷、氧氣）

過濾：如果氣體中含有任何顆粒物質，需要使用20微米過濾器

規格（FMA3200流量控制器）

壓差： 15 ~ 40 psi

閥門工作壽命： >1百萬次循環；閥門處于常閉狀態

控制量程： 50:1

遠程設定電壓： 0 ~ 5 Vdc

重量：

    FMA3100： 199 g (0.44 lb)

FMA3300： 249 g (0.55 lb)

FMA3200： 386 g (0.85 lb)

不帶接頭的尺寸（近似值）：

    FMA3100： 47（長）x 26（寬）x 90 mm（高）(1.87 x 1.03 x 3.55")

FMA3300： 47（長）x 26（寬）x 127 mm（高）(1.87 x 1.03 x 5.0")

FMA3200： 81（長）x 26（寬）x 97 mm（高）(3.17 x 1.03 x 3.80")

FMA3100系列 FMA3302 氣體質量流量控制器和流量計 Omega歐米茄

規格:

輸出： 0 ~ 5 Vdc（***小值2500 ?）

輸入設定電壓 

（僅FMA3200）： 0 ~ 5 Vdc

精度： 滿量程的±1.5%*

重復性： 滿量程的±0.5%

響應時間： 在滿量程的25 ~ ***范圍大約2秒（常規）達到設定流速的±2%內

工作環境： 10 ~ 50°C (50 ~ 122°F)，無冷凝空氣

工作壓力范圍： 25°C (77°F)時達到***大值150 psi

溫度系數： 每°C為±0.2%

壓力系數： 每psi為±0.02%

泄漏完整性： 對于外界環境，***大值為1x10-4SCCS氦氣

輸入電源：

    FMA3100和FMA3300： 12 ~ 15 Vdc，100 mA (1.5 W)

FMA3200： 12 ~ 15 Vdc，250 mA (3.75 W)

連接口： 流速達到1 L/min時，采用?"壓合接頭；流速達到5 L/min時，采用?" 壓合接頭；流速達到10 L/min時，采用?"壓合接頭

接液材質： 陽極氧化鋁、氟橡膠O形圈、304和316不銹鋼、環氧樹脂、乙縮醛壓合管接頭（標配）

量程比： 10:1

氣體： 大部分潔凈、干燥氣體（例如，空氣、氮氣、二氧化碳、氬氣、氫氣、氦氣、甲烷、氧氣）

過濾：如果氣體中含有任何顆粒物質，需要使用20微米過濾器

規格（FMA3200流量控制器）

壓差： 15 ~ 40 psi

閥門工作壽命： >1百萬次循環；閥門處于常閉狀態

控制量程： 50:1

遠程設定電壓： 0 ~ 5 Vdc

重量：

    FMA3100： 199 g (0.44 lb)

FMA3300： 249 g (0.55 lb)

FMA3200： 386 g (0.85 lb)

不帶接頭的尺寸（近似值）：

    FMA3100： 47（長）x 26（寬）x 90 mm（高）(1.87 x 1.03 x 3.55")

FMA3300： 47（長）x 26（寬）x 127 mm（高）(1.87 x 1.03 x 5.0")

FMA3200： 81（長）x 26（寬）x 97 mm（高）(3.17 x 1.03 x 3.80")