高速壓電快速傾斜鏡

所屬類別： ? 精密定位系統/平移臺/掃描系統 ? 快速傾斜鏡/轉鏡/旋轉平移臺

產品簡介

高速壓電快速傾斜鏡-高精密壓電偏轉鏡

高分辨率的高速精密壓電快反鏡（快速反射鏡）！

上海昊量光電推出的高速精密壓電偏轉鏡采用壓電陶瓷直推驅動，零摩擦的柔性鉸鏈為導向系統使其具有結構緊湊、體積小、無機械摩擦、定位分辨率高等優點。鏡子只需要簡單的固定到偏轉臺上，可提供2毫弧度的偏轉行程。在整個偏轉行程中可達到亞微弧度的分辨率。低的移動質量和優異的控制系統可以提供極佳的響應時間和和速度。

快速偏轉鏡、偏轉鏡、壓電偏轉鏡、快速傾斜鏡、Piezo Tip/Tilt Mirror 快速Tip/Tilt偏轉鏡

高速精密壓電偏轉鏡是為了滿足在光學成像和檢測系統中鏡子超快超精密定位的需求設計的。高速精密壓電偏轉鏡采用壓電陶瓷為驅動，利用無摩擦的柔性鉸鏈導向系統，使偏轉鏡擁有體積小、無摩擦，定位精度高等優點。

該偏轉鏡子只需要簡單的固定到偏轉臺上，可提供2毫弧度的偏轉行程。在整個偏轉行程中可達到亞微弧度的分辨率。低的移動質量和優異的控制系統可以提供極佳的響應時間和和速度。

上海昊量光電設備有限公司的高速精密壓電偏轉鏡有以下幾款產品：

AU-NPS-q-2A為qx偏轉鏡，該偏轉鏡的偏轉行程為2毫弧度，分辨率可達到亞微弧度。封閉的封裝可以提供更高的穩定性和可靠性。采用不銹鋼材質，以及柔性鉸鏈導向系統和優異的閉環控制系統使其擁有極快的響應速度和時間，響應時間小于1毫秒。自振頻率在空載下可達到5000Hz。

AU-NPS-qg-2B為快速Tip/Tilt偏轉鏡，該偏轉鏡的閉環擺角可達±1微弧度。在整個擺角行程中分辨率可達到亞微弧度量***。采用鋁合金材質，低的移動質量以及優異的閉環控制系統可以提供極佳的響應時間和速度。

AU-XPS-qg-2A為開環快速Tip/Tilt偏轉鏡，該偏轉鏡的開環擺角可達±1微弧度。在整個擺角行程中分辨率可達到亞微弧度量***。該產品的帶寬可達到2kHz，低的移動質量以及優異的開環控制系統可以提供極佳的響應時間和速度，信號響應時間可達到5ms。

u 產品主要特點

l 亞微弧度的分辨率

l 超快響應時間

l 柔性鉸鏈導向系統

l 高的可靠性

l 高的帶寬

u 主要應用

精確光束控制、圖像抖動校正等。

u 主要參數

產品參數		AU-NPS-q-2A	AU-NPS-qg-2B	AU-XPS-qg-2A
Material		Stainless steel	Aluminium (Electroless nickel plated)	Aluminium (Electroless nickel plated)
Size (mm)		35 (high) by 30 (diameter)	56 high x 60 diameter	35 high x 30 diameter
Range (mrad)	Minimum		±1	±1.25
	Typical	± 1	±1.05	±1.4
	Maximum
Resonant frequency: 0g load (Hz) /Typical		5000	1000	2000
Position noise	Fast	0.05μrad	15 nrad
	Medium		6 nrad
	Slow		2 nrad
Linearity error (peak)	Minimum	0.2%
	Typical		0.03%
	Maximum		0.05%

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