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IC檢測(cè)晶圓裝載機(jī)
IC檢測(cè)晶圓裝載機(jī)NWL860TMB/TM/T
***個(gè)的宏觀檢查的主機(jī)需要***流的功能

    為了支持*新的晶圓的過(guò)程，涉及增加密度，多層次,顯微鏡報(bào)價(jià)，逐步提高的步驟，這種類型使各項(xiàng)宏觀檢查職能，包括微型檢查（運(yùn)輸），圖案方宏檢查，背面中心和外圍宏觀檢查,體視顯微鏡。用戶可以從三個(gè)型號(hào)- TMB，以舊換新,生物顯微鏡，和T-根據(jù)自己的需要選擇,北京顯微鏡。這些模型提供了多種特性，包括非接觸式定心由光電傳感器控制,北京生物顯微鏡，以防止污染;大，易于閱讀的LCD控制面板和高吞吐量的多ARM系統(tǒng),光學(xué)顯微鏡，簡(jiǎn)化晶圓裝卸;和支持150毫米和200mm晶圓。
    （圖為***個(gè)Eclipse L200 IC檢查顯微鏡相結(jié)合晶圓裝載機(jī)的例子。）

IC檢測(cè)晶圓裝載機(jī)NWL860TMB SP
***個(gè)的宏觀檢查的主機(jī)需要***流的功能

    加強(qiáng)宏觀職能的TMB系列添加了以下功能：
    不銹鋼人體不會(huì)產(chǎn)生靜電
    提供緊急停止開(kāi)關(guān)（EMO）
    真空吸盤(pán)裝置使用的PEEK塑料，使檢查晶圓是很難劃傷。
    符合SEMI（秒）標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)據(jù)通信功能（可選）
    （照片是用Eclipse L200 IC檢查顯微鏡配置為例）