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服務(wù)范圍：軍工，航天，半導(dǎo)體，材料等

服務(wù)內(nèi)容：1.材料表面形貌分析，微區(qū)形貌觀察  

          2.材料形狀、大小、表面、斷面、粒徑分布分析

          3.薄膜樣品表面形貌觀察、薄膜粗糙度及膜厚分析

          4.納米尺寸量測(cè)及標(biāo)示

          5.微區(qū)成分定性及定量分析

SEM，EDS，XRD的區(qū)別，SEM是掃描電鏡，EDS是掃描電鏡上配搭的*個(gè)用于微區(qū)分析成分的配件——能譜儀，是用來(lái)對(duì)材料微區(qū)成分元素種類與含量分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。XRD是X射線衍射儀，是用于物相分析的檢測(cè)設(shè)備。

SEM用于觀察標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)，其工作原理是用*束*細(xì)的電子束掃描樣品，在樣品表面激發(fā)出次*電子，次*電子的多少與電子束入射角有關(guān)，也就是說(shuō)與樣 品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān)，次*電子由探測(cè)體收集，并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?hào)，再經(jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)來(lái)控制熒光屏上電子束的強(qiáng)度，顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象，反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。

EDS的原理是各種元素具有自己的X射線特征波長(zhǎng)，特征波長(zhǎng)的大小則取決于能*躍遷過(guò)程中釋放出的特征能量△E，能譜儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這*特點(diǎn)來(lái)進(jìn)行成分分析的。

XRD是利用衍射原理，精確測(cè)定物質(zhì)的晶體結(jié)構(gòu),織構(gòu)及應(yīng)力,精確的進(jìn)行物相分析，定性分析，定量分析。

說(shuō)簡(jiǎn)單點(diǎn)，SEM是用來(lái)看微觀形貌的，觀察表面的形態(tài)、斷口、微裂紋等等；EDS則是檢測(cè)元素及其分布，但是H元素不能檢測(cè)；XRD觀察的是組織結(jié)構(gòu)，可以測(cè)各個(gè)相的比例、晶體結(jié)構(gòu)等。