TESCAN聚焦離子束雙束掃描電鏡LYRA3
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TESCAN LYRA3鎵等離子雙束FIB系統
基于高分辨率肖特基FEG-SEM鏡筒和高性能聚焦離子束鏡筒,LYRA3 FIB-SEM是***款SEM與FIB良好結合的***體化系統,能夠滿足高要求客戶的需要。
新***代場發射掃描電子顯微鏡(LYRA3)給用戶帶來了新的技術優點,包括改進的高性能電子設備使成像速度更快,包含了靜態和動態圖像扭曲補償技術的超快掃描系統,內置的編程軟件等,都使LYRA3保持著很高的性價比。
LYRA3系列的設計適用于各種各樣的SEM應用及當今研究和工業的需求。大電子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3維斷層掃描等分析應用。借助于高性能軟件,TESCAN的FIB-SEM已成為適合電子束/離子束光刻、TEM樣品制備等應用的強大工具。LYRA3聚焦離子束掃描電子顯微鏡配備了XM與GM兩種樣品室。
現代電子光路
高性能離子光路
聚焦離子束裝置
維修簡單
只需要很短的停機檢修時間,就能使得電鏡長期保持在優化的狀態。每個細節設計得非常仔細,使得儀器的效率化,操作*簡化。
自動程序
自動設置和許多其他的自動化操作是設備的特點。除此之外,電鏡還有樣品臺自動導航與自動分析 程序,能明顯減少操作員的操作時間。通過內置腳本語言 (Python)可進入操作軟件的大多數功能,包括顯微鏡控制、樣品臺控制、圖像采集、處理與分析。通過腳本語言用戶還可以編程其自己的自動操作程序。
用戶界面友好的軟件與軟件工具
TESCAN LYRA3鎵等離子雙束FIB系統(XM)
分析潛力
LYRA3配置
LYRA3 XMH
配有5軸馬達驅動全計算機化優中心樣品臺的超大樣品室型號,適用于在高真空模式下分析導電的樣品。
LYRA3 XMU
可變真空型掃描電鏡,體現了高真空模式和低真空模式的優點,可以在不噴金的情況下利用低真空模式直接觀察不導電樣品。
軟件(標配):
軟件(選配):
根據實際配置和需求
配件:
等,各種配件可供選擇