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反射式數字全息顯微鏡DHM^®系列(DHM-R1000, DHM-R2100 、 DHM-R2200)

動態可測垂直高度(無須掃描情況下)

連續結構： 200 μm

臺階：15 μm

水平分辨率

由所選物鏡決定， 333 nm（@100×）

垂直精度

 小至 0.15 nm

垂直分辨率
(定義為兩倍于精度)

 小至 0.30 nm

精度
(定義為對單***像素點做30次測量后取時域標準差)

小至 0.01 nm

垂直校準

由干涉濾波決定，±0.1 nm

垂直掃描下的可測垂直高度

由電動樣品臺決定，達 10 mm

視場

由所選物鏡決定，從66μm×66μm 到5 mm x 5 mm

圖像抓取速率

標準：155fps (1024 x 1024). (可選 1000 fps).

圖像抓取時間

標準：60 μs (可選高速只需 10 μs)

工作距

由所選物鏡決定，從0.3 mm 到 18 mm

數字自動聚焦范圍

由所選物鏡決定， 可達景深的 50倍

視場

 1024 x 1024 像素點

工作距

 < 1%

采樣空間

 1024 x 1024 像素點

可測樣品反射率
(僅對反射式 DHM )

< 1%
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