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北京飛凱曼公司提供光子晶體探測器型橢偏儀。這種光子晶體探測器型的橢偏儀是有日本Photonic Lattice公司***創(chuàng)，并應(yīng)用到橢偏儀的測試中。日本Photonic Lattice公司在光子晶體的研究和制造領(lǐng)域世界，由此開發(fā)出的光子晶體探測器型橢偏儀具有測試速度快、測量準(zhǔn)確、免維護(hù)、價(jià)格低廉等特點(diǎn)已經(jīng)在光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、有機(jī)薄膜等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。該橢偏儀可快速準(zhǔn)確測量薄膜的厚度和折射率的分布。

相比傳統(tǒng)的光譜型橢偏儀，光子晶體探測器型橢偏儀避免了探測器的機(jī)械運(yùn)動(dòng)。使得測試速度更快、測試更加準(zhǔn)確、成本更加低廉。

ME-210型光子晶體探測器型橢偏儀特點(diǎn)：

1）  可用于8英寸樣品的3D快速成像

2）  可用于厚度差異小于1nm以內(nèi)的薄膜的快速和高精度成像

3）  超高速測量，速度可達(dá)20000點(diǎn)/分鐘

4）  超高分辨率的測量，*小面積可達(dá)50um2

5）  可進(jìn)行透明基底上的薄膜的測試

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