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行程（mm）

X

  500              600              800             1000

Y

500/700/800      600/800/1000     800/1000/1200     1000/1200/1500

Z

  400              500              600             800

空間密度 

            MPEE=（3.0+L/300）μm               MPEE =（3.5+L/200）μm

                分辨率：0.5μm           結(jié)構(gòu)形式：移動(dòng)橋式樣     總功率：500W（不包括電腦）  

外形尺寸m   1.21*1.3/1.5/1.6/2.33    1.31*1.1/1.6/1.8*2.53   1.65*1.9/2.1/2.3*2.85  1.85*2.1/2.3/2.6*3.25

整機(jī)重量kg       980/1120/1200     1100/1250/1400    2200/2460/2720     2600/2880/3300

承重kg        500              800               1000               1500