微位移測量激光干涉儀ZLM800
上海非利加實業有限公司
聯 系 人: 上海非利加實業有限公司
電 話: 400-006-7520
傳 真: 400-006-7520
配送方式: 上海自提或三方快遞
聯系我時請說在上海非利加實業有限公司上看到的,謝謝!
產品功能
ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀,主要用于各種平臺和部件的微位測量、各種擺鏡角度變化量的監測、運動平臺位移量和角度變化的檢測、光刻機幾何量的測量、數控機床幾何量的測量等,*多可實現六軸聯動。也可通過位移+偏擺+俯仰的三角關系測量檢測物體的振動變化。
性能優勢 技術參數
32 Bit (實時時間)
Dt » 20 ns
應用案例



ZLM800部分光路圖示例

從X、Y和Z方向同時測量被測物體的位移,其中X和Y在***個水平層面上







