技術參數
。曝光面積：4 英寸
。曝光波長：365nm
。分辨力：1.5μm（膠厚 2 m 的正膠）
。對準精度：±1μm
。掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm
。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
。樣片尺寸：直徑 Ф 15mm－－ Ф 100mm，厚度 0.1mm－－6mm(可擴展為 15mm)
。曝光方式：定時（***方式）和定劑量
。照明不均勻性： 5%（Ф 100mm 范圍）
。雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準，光學合像，光學倍數 400 倍，光學+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍
。掩模相對于樣片運動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度
。汞燈功率：200W（直流）
。曝光能量密度：6mW/cm
2．外形尺寸：650mm（長）x600mm(寬) x900mm（高）36
3．配置
（1）曝光頭
。200W 進口直流高壓汞燈(德***歐司朗)
。XYZ 汞燈調節臺
。光學系統
。冷卻風扇
（2）對準工件臺
。掩模樣片整體運動臺
。掩模樣片相對運動臺
。轉動臺
。樣片調平機構,手動
。樣片調焦機構，手動
。承片臺 3 個（Ф 50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm ）
。掩模夾 4 個（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
。掩模抽拉式上下機構
（3）對準顯微鏡
。光源（配備品 2 只）、電源
。雙目雙視場對準顯微鏡主體
。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
。CCD（臺灣）
。21 寸液晶顯示器
（4）電控系統
。汞燈觸發電源(200W 直流汞燈)
。單片機控制系統
。控制機箱
（5）氣動系統
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
。電磁閥驅動
。氣動儀表
（6）其他附件
。真空泵***臺
。管道
滬公網安備31011502016460號
