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日本JEOL 圓形電子束光刻系統

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-19 15:35

品  牌:型  號:JBX-8100FS

狀  態:正常點擊量:1662

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日本電子JEOL: JBX-8100FS 圓形電子束光刻系統

·  JBX-8100FS 圓形電子束光刻系統

·  *新高精密JBX-8100FS圓形電子束光刻系統,通過全方位的設計優化,實現更簡便的操作,更快的刻寫速度,更小的占地面積和安裝空間,并且更加綠色節能。

*新高精密JBX-8100FS圓形電子束光刻系統,通過全方位的設計優化,實現更簡便的操作,更快的刻寫速度,更小的占地面積和安裝空間,并且更加綠色節能。

節省空間

標準的設備占地面積為4.9m(W)×3.7m(D)×2.6m(H),比以往機型占用空間更小,外形更加緊湊美觀。

低功耗

正常工作時的功耗約為3kVA,僅需以往機型耗電量的1/3。

高產能

具備高分辨率和高速兩種刻寫模式,非常適用于超微細加工以及批量生產。該設備減少了刻寫過程中的無謂耗時,并將掃描頻率提升至業界*水準的125MHz (以往機型的1.25~2.5倍),使其具備更高的生產能力。

機型

JBX-8100FS系列設有G1(基本版)和G2(全配版)兩種機型。G1機型裝機后也可進行升***,使其支持更高的應用需求。

新功能

安裝光學顯微鏡(選配)后,在避免光刻膠感光的的同時可對材料上的圖形進行確認。設備還配備了信號塔(標配),實現了視覺范圍內的系統運行狀況監控。

激光定位分辨率

采用分辨率為0.6nm的激光干涉儀,對樣品臺位置進行高精度的量測控制。

系統控制

配備了Linux®系統,圖形用戶界面使操作更加簡單,便于初學者使用。數據準備程序支持Linux®和Windows®

主要技術指標

機型

G1 (基本版)

G2 (全配版)

描畫方式

圓形束斑, 矢量掃描, 步進重復移動方式

加速電壓

100kV

100kV/50kV

電流

5×10-12 ~ 2×10-7A

寫場尺寸

1,000μm×1,000μm

2,000μm×2,000μm 

掃描頻率

125MHz

樣品臺移動范圍

190mm×170mm

套刻精度

Q±9nm

場拼接精度

Q±9nm

正常工作時的功耗

3kVA

樣品尺寸

200mmΦ的晶圓片, 6英寸的掩模版及任意尺寸的的微小樣品。

材料傳送

(1張)自動裝載系統

(12張)自動裝載系統

主要選配件

光學顯微鏡
  25kV加速電壓
  數據準備程序的追加授權

 

 


產品參數


產品介紹



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