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日本進口Kosaka臺階儀ET150粗糙度輪廓儀

價  格：詢價

產(chǎn)  地：更新時間：2021-04-30 11:47

品  牌：其他型  號：ET150

狀  態(tài)：正常點擊量：2694

400-006-7520
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上海非利加實業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人： 上海非利加實業(yè)有限公司

電   話： 400-006-7520

傳   真： 400-006-7520

配送方式： 上海自提或三方快遞

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日本進口Kosaka臺階儀ET150粗糙度輪廓儀特點：

二次元表面解析，可測量段差

高精度、高分辨率和良好的再現(xiàn)性

FPD面板顯示，可測定微細表面形狀、段差、粗度等

低測定力，可測定軟質(zhì)材料

主要應(yīng)用：
前制程機臺（如曝光機、濺鍍機、蝕刻機）best recipe 找尋。例如：PVD、CVD、DLC真空濺鍍薄膜臺階、應(yīng)力測試及軟質(zhì)光阻材料等薄膜臺階測量。


 



產(chǎn)品參數(shù)

日本進口Kosaka臺階儀ET150粗糙度輪廓儀技術(shù)參數(shù)：

型號

ET150

樣品尺寸

φ160x48mm

樣品臺

尺寸

φ160

傾斜度

±2°（X,Y手動）

承重

2Kg

檢出器

觸針力

10μN-500μN（1mg-50mg）

范圍

600μm（0.1nm分辨率）

驅(qū)動

直動式（差動變壓器）

觸針

R2μm  頂角60°

X軸

測長

100mm

直線度

0.02μm/100mm

速度

0.005-20mm/s

重復性

±5μm（定位）

Y軸

測長

25mm/手動

Z軸

測長

50mm

放大倍數(shù)

垂直

50-2000000

水平

1-10000

監(jiān)控系統(tǒng)

攝像裝置

1/3 inch CCD

監(jiān)視裝置

視頻捕捉板

移動方法

手動

輔助功能

教學、機動傾斜、傾斜度分析、檢出器自動停止功能等

應(yīng)用

成像、臺階、粗糙度、波紋度和傾斜度

重復性

1σ1nm

電源

AC90-240V  50/60Hz 300VA

外觀尺寸

W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震臺）



產(chǎn)品介紹




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