hot chuck 樣品加熱臺 |
| 特點 | 類型 | 規格 |
*低噪聲，直流電驅動
*隔離套裝實現PA***電信測試精度
*隔絕水循環保護chuck底座
*可以在絕大多數探針臺上加裝
*易于裝卸
| chuck（卡盤） | 尺寸：4, 6, 8,英寸直徑，1英寸厚度 |
| Chuck 平整度：+ -10 微米 |
| 材質：不銹鋼（可升***鍍金/鍍鎳） 真空吸附固定 |
| 溫度控制系統 | 控溫范圍：常溫到300攝氏度 |
| 控溫精度：0.1℃ |
| 溫度穩定度：+- 1% |
從25 ℃開始升溫時間/秒： 100 ℃/1:00 150 ℃/2:30 200 ℃/3:00 300 ℃/4:30 |
| 高溫配件，可以升溫至300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃ |
| 低溫配件，可以冷卻至5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低溫至-196 ℃ |
| 控制器 | 尺寸：350mm長 x 300mm寬 x 150mm高 |
| 重量：20 Kg |
| 附件：用于其他品牌探針臺的安裝轉接口 更高溫度控制精度 更高溫度均勻性 水冷箱 更低電流測試用的屏蔽裝置 測試屏蔽腔體 |
滬公網安備31011502016460號
