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CH8探針臺(tái)

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：8 英寸大行程高精度移動(dòng)、針座平臺(tái)可快速升降、 4000 倍的光學(xué)放大倍率、系統(tǒng)漏電精度高、可升***做射頻測(cè)試、高溫測(cè)試。

CH8探針臺(tái)

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

技術(shù)參數(shù)

CH-8

臺(tái)體

樣品臺(tái)尺寸

8 英寸

水平旋轉(zhuǎn)

可 360 度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào) 15 度，精度 0.1 度，帶角度鎖死

裝置

X-Y 移動(dòng)行程

8 英寸*8 英寸

X-Y 移動(dòng)精度

10 微米/1 微米

樣品固定

真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺(tái)

*多可放置 8 個(gè)探針座

平臺(tái)升降

可快速升降 6mm/可微調(diào)升降 25mm

背電極測(cè)試

樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm 插孔可接背電極

顯微鏡

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移動(dòng)行程

X-Y 軸行程 2 英寸*2 英寸，Z 軸行程 50.8mm

光源

外置 LED 環(huán)形光源/同軸光源

CCD

200 萬像素/500 萬像素/1200 萬像素

探針座

X-Y-Z 移動(dòng)行程

12mm*12mm*12mm

移動(dòng)精度

10 微米/2 微米/0.7 微米/0.5 微米

吸附方式

磁力吸附/真空吸附

探針夾具

線纜

同軸線/三軸線

漏電精度

10pA/100fA

固定探針

彈簧固定/管狀固定

接頭類型

BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

探針

針尖直徑

0.2 微米/1 微米/2 微米/5 微米/10 微米/20 微米

材質(zhì)

鎢鋼/鈹銅

外形

840mm 長(zhǎng)*600mm 寬*700mm 高

重量

約 100 千克

可選附件

加熱臺(tái)、防震桌、屏蔽箱、探針卡夾具、射頻測(cè)試組件

 CH8探針臺(tái)介紹

CH-8 探針臺(tái)是***款滿足于 8 英寸樣品及 8 英寸以下尺寸樣品測(cè)試的探針臺(tái)，具有優(yōu)異的機(jī)械系統(tǒng)，203mm（8 英寸）大行程，高精度的特點(diǎn)，可滿足晶圓測(cè)試、LED 測(cè)試、功率器件測(cè)試、光電測(cè)試、場(chǎng)晶體效應(yīng)管測(cè)試等不同產(chǎn)品測(cè)試，以及可升***做射頻測(cè)試，廣泛的應(yīng)用保證了客戶的***次性投資以及設(shè)備的使用率。