技術參數：
1.光刻版尺寸：550x450mm,540x420mm,
2.厚度：4.8mm, 3.0mm.
3.光刻版基材:Quartz;SodaLime
4.*小線寬:1.0um.
5.接觸孔:1.5x1.5um
6.CD公差:+/-0.1um
7.均***性（范圍）:0.12um
8.套刻精度:0.12um
9.缺陷大小:0.8um缺陷密度:0.6DPSI
光刻網格校正玻璃版是***種圖形轉移技術，將光刻版上的網格圖形轉移到涂有光敏材料，即光刻膠的硅片上，符合工業標準的光刻和檢測系統的光刻版。將光***先通過光刻版，將硅片上的光刻膠曝光，從而產生可以沉積金屬的藍圖。電子束或激光束圖形發生器是該工藝過程中的關鍵部分。這些工具用來生產光刻版-***種覆有精細金屬硌形成的集成電路圖形的低膨玻璃或石英平板。
圖形發生器采用電子束或激光束根據這些信息在覆蓋有光刻膠的基版上畫出圖形。然后基版再去顯影，刻蝕從而生產出光刻版。
滬公網安備31011502016460號
