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真空：極限真空6*10 ^-5 帕

        工作真空6*10 ^-4 帕

        恢復(fù)工作真空時(shí)間：連接手套箱≤10分鐘

        不連接手套箱，充干燥氮?dú)狻?0分鐘

本套設(shè)備配有8個(gè)有機(jī)源及2個(gè)金屬源

金屬蒸發(fā)源和有機(jī)蒸發(fā)源可按客戶(hù)要求配置

膜厚探頭及膜厚儀有***產(chǎn)或者進(jìn)口可選

金屬蒸發(fā)源配有1000w電源

有機(jī)蒸發(fā)源配有可控溫電源，控溫精度±1℃

技術(shù)指標(biāo)：

1. 真空室的極限真空度達(dá)5*10^-5pa，漏率為關(guān)機(jī)12小時(shí)≤5pa

2. 真空腔內(nèi)配有集約樣品臺(tái)***套，配有大擋板和16套小擋板，手動(dòng)

控制，開(kāi)關(guān)方便快捷，每個(gè)小擋板擋兩塊30*30mm樣片

3. 蒸發(fā)源共14套，其中10套有機(jī)蒸發(fā)源，4套金屬蒸發(fā)源。控溫

精度±1℃，可以實(shí)現(xiàn)溫度或電流補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)蒸鍍速率穩(wěn)定的功能

4. 金屬蒸發(fā)源配4臺(tái)***帶***1000W可控硅調(diào)壓電源，通過(guò)銅電極

連接，兩端可夾鎢絞絲或者鉭舟，鎢絞絲可以蒸鍍絲狀或者大顆粒

材料，鉭舟可以蒸鍍粉末狀材料，蒸發(fā)源采用陶瓷全密封，避免交

叉污染

5. 有機(jī)蒸發(fā)源配10臺(tái)***帶***溫控電源，有機(jī)源溫度為室溫-500度，

可以根據(jù)材料及用戶(hù)需求自行調(diào)節(jié)

6. 樣品臺(tái)具有旋轉(zhuǎn)、升降功能，可在線更換掩膜板***次，可同時(shí)裝

載30mm*30mm樣品16塊。本產(chǎn)品每?jī)蓚€(gè)樣品都配有小擋板，

并且通過(guò)PLC控制步進(jìn)電機(jī)對(duì)每個(gè)小擋板做16個(gè)定位，使機(jī)械手

推拉小擋板，樣品與蒸發(fā)源之間的間距為200-300mm