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技術(shù)指標(biāo)：

1. 真空室的極限真空度達(dá)5*10^-5pa，漏率為關(guān)機(jī)12小時(shí)≤5pa

2. 真空腔內(nèi)配有集約樣品臺***套，配有大擋板和16套小擋板，手動

控制，開關(guān)方便快捷，每個(gè)小擋板擋兩塊30*30mm樣片

3. 蒸發(fā)源共14套，其中10套有機(jī)蒸發(fā)源，4套金屬蒸發(fā)源。控溫

精度±1℃，可以實(shí)現(xiàn)溫度或電流補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)蒸鍍速率穩(wěn)定的功能

4. 金屬蒸發(fā)源配4臺***帶***1000W可控硅調(diào)壓電源，通過銅電極

連接，兩端可夾鎢絞絲或者鉭舟，鎢絞絲可以蒸鍍絲狀或者大顆粒

材料，鉭舟可以蒸鍍粉末狀材料，蒸發(fā)源采用陶瓷全密封，避免交

叉污染

5. 有機(jī)蒸發(fā)源配10臺***帶***溫控電源，有機(jī)源溫度為室溫-500度，

可以根據(jù)材料及用戶需求自行調(diào)節(jié)

6. 樣品臺具有旋轉(zhuǎn)、升降功能，可在線更換掩膜板***次，可同時(shí)裝

載30mm*30mm樣品16塊。本產(chǎn)品每兩個(gè)樣品都配有小擋板，

并且通過PLC控制步進(jìn)電機(jī)對每個(gè)小擋板做16個(gè)定位，使機(jī)械手

推拉小擋板，樣品與蒸發(fā)源之間的間距為200-300mm