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SmartWLI-Double Z-axis雙軸三維形貌輪廓儀

SmartWLI-Prime雙軸三維形貌輪廓儀

配備0.1nm高分辨率的小量程Z軸和小于100nm分辨率的大量程Z軸

該產(chǎn)品將兩種Z軸方向的移動(dòng)控制模式整合在***起，是兩種模式***體化，可以實(shí)現(xiàn)兩種Z軸移動(dòng)模式的自由切換，測(cè)量范圍從nm水平到mm水平，實(shí)現(xiàn)納米分辨率到亞微米分辨率，可測(cè)量不同類(lèi)型的產(chǎn)品，適用于大輪廓形貌到微小形貌的多種應(yīng)用需求。

v產(chǎn)品特點(diǎn)

1．兩種Z軸移動(dòng)控制模式，壓電陶瓷馬達(dá)控制小量程和步進(jìn)電機(jī)控制大量程,整體測(cè)量范圍實(shí)現(xiàn)0.1nm~100mm；

2．小量程Z軸實(shí)現(xiàn)***大400um的測(cè)量范圍，測(cè)量分辨率在PSI模式下0.1nm；

3．大量程Z軸實(shí)現(xiàn)***大100mm的測(cè)量范圍，測(cè)量分辨率小于100nm；

4．Z軸方向移動(dòng)的實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制，通過(guò)相關(guān)軟件和控制手柄可自動(dòng)對(duì)焦，同時(shí)Z軸采用自動(dòng)拼接技術(shù)，實(shí)現(xiàn)整體全自動(dòng)測(cè)量；

5．標(biāo)配壓電陶瓷馬達(dá)控制的Z軸測(cè)量頭，樣品垂直方向測(cè)量***大高度：400um，測(cè)量分辨率PSI模式：0.1nm，VSI模式：1nm；

6．可選配不同放大倍數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)干涉物鏡（2.5X，5X，10X,20X，50X，100X）；

配置控制和快速采集信號(hào)采集軟件SmartWLI_VIS。