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MCT系列換流型氣體質量流量控制器

價  格：詢價

產(chǎn)  地：更新時間：2021-03-29 17:16

品  牌：其他型  號：

狀  態(tài)：正常點擊量：2685

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上海非利加實業(yè)有限公司

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配送方式： 上海自提或三方快遞

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產(chǎn)品參數(shù)

性能

  • 可用量程：大0-5000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）

  • 可調比：200：1（MCT系列）或者100：1（MCTS系列）

  • 標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）

  • 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）

  • 可重復性：0.2%滿量程

  • 標準控制器響應時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調節(jié)功能，可縮短至25ms）

  • 無需預熱時間

工作條件

  • 兼容氣體：98種（MCT系列）或130種（MCTS系列）種預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體

  • 工作溫度：-10°C至+60°C

  • 大內部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）

  • 耐受壓力：175 psig（190 psia）

  • STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）



產(chǎn)品介紹




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