MCE和MCV系列真空氣體質量流量控制器
價 格：詢價
產 地：更新時間：2021-03-29 17:22
品 牌：其他型 號：
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產品參數
性能
可用量程：大0-20 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
可調比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數+0.2%滿量程）
高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程）
可重復性：0.2%滿量程
標準控制器響應時間常數：50-100ms（若有PID調節功能，可縮短至25ms）
氣動閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（大值，氦氣）
無需預熱時間
工作條件
兼容氣體：98種（MCE/MCV系列）或130種（MCES/MCVS系列）預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
大內部壓力（靜態）：145 psig（160 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
滬公網安備31011502016460號
