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美國MKS Instruments Inc.
MKS Instruments, Inc. 在氣體、真空儀器應(yīng)用方面一直居于全球之技術(shù)領(lǐng)先的地位。 相關(guān)的產(chǎn)品應(yīng)用于尖端之材料科學(xué)或制程技術(shù)的改善，從精密的半導(dǎo)體工業(yè)，光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)用工具的表面涂裝, 食品及制藥工業(yè)等范圍，這些制程都牽涉到在控制的環(huán)境內(nèi)使分子氣相及固相發(fā)生適當(dāng)?shù)姆磻?yīng)，以便在材料上形成不同的材質(zhì)或薄膜。

藉由 MKS 的各種相關(guān)產(chǎn)品以管理, 監(jiān)測及控制氣體，壓力等條件, 提供制程所須的環(huán)境，同時(shí) MKS 也提供各種制程產(chǎn)生器 , 例如: 電漿產(chǎn)生器, 微波產(chǎn)生器, 臭氧產(chǎn)生器, 射頻供應(yīng)器 等相關(guān)元件供應(yīng)制程所環(huán)境, 以達(dá)到制程控制。

MKS 擁有完整的技術(shù)及產(chǎn)品資源，不管是產(chǎn)品的研發(fā)設(shè)計(jì)、客戶的支持服務(wù)，都能快速提供依客戶特殊須求的產(chǎn)品服務(wù)來配合。

MKS 是全球最著名的先進(jìn)生產(chǎn)工藝控制設(shè)備供應(yīng)商之一， 其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件生產(chǎn), 平板顯示器, 光學(xué)儲(chǔ)存介質(zhì), 玻璃鍍膜, 光電產(chǎn)品等生產(chǎn)設(shè)備及制藥和醫(yī)學(xué)成像設(shè)備。 MKS 前瞻性的創(chuàng)新開發(fā)， 推動(dòng)其產(chǎn)品一直處于全球技術(shù)領(lǐng)先地位。 MKS 的電源, 測量, 控制和復(fù)雜氣體相關(guān)的工藝監(jiān)控技術(shù)， 改善了設(shè)備完好率和產(chǎn)品成品率， 提高了生產(chǎn)產(chǎn)量和產(chǎn)品性能。 MKS 產(chǎn)品起源于我們的壓力測量和控制核心技術(shù)， 延伸到材料遞送, 氣體和薄膜成分分析, 靜電荷控制, 工藝控制, 信息管理, 電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù)。

MKS成立于 1961 年， 總部位于美國東部波士頓以北的 Wilmington。 近三千名員工工作在全球各地十三個(gè)分公司, 七個(gè)研究中心, 十個(gè)生產(chǎn)基地 (其中中國深圳的 ENI電源工廠擁有近 500員工) 及 140 多個(gè)銷售辦事處和 30 多個(gè)技術(shù)服務(wù)中心。 公司在納斯達(dá)克上市， 股票代碼： MKSI。

MKS 擁有完整的技術(shù)及產(chǎn)品資源， 無論是產(chǎn)品的研發(fā)設(shè)計(jì), 生產(chǎn)管理還是客戶支持服務(wù)， 都能快速滿足客戶的各種特殊需求。 MKS主要提供有： 氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子 /臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器, 真空產(chǎn)品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。

 
萬機(jī)儀器(上海)有限公司是美國萬機(jī)儀器有限公司 (MKS Instruments, Inc.) 在中國的全資子公司。位于上海金橋出口加工區(qū)的銷售和技術(shù)服務(wù)中心，為迅速發(fā)展的中國半導(dǎo)體、太陽能電池、LED和真空工業(yè)提供一流的產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)。公司在上海外高橋保稅區(qū)還設(shè)有保稅倉庫。