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K1050X等離子清洗刻蝕灰化儀

價(jià)  格:詢價(jià)

產(chǎn)  地:英國(guó)更新時(shí)間:2021-02-26 15:37

品  牌:Quorum型  號(hào):K1050X

狀  態(tài):正常點(diǎn)擊量:2457

400-006-7520
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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人: 上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

電   話: 400-006-7520

傳   真: 400-006-7520

配送方式: 上海自提或三方快遞

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K1050X等離子清洗刻蝕灰化儀

特點(diǎn):
● 固態(tài)射頻發(fā)生器及調(diào)諧電路
● 全自動(dòng)控制
● 抽屜式結(jié)構(gòu)
● 兩種處理氣體
● 緊湊的臺(tái)式系統(tǒng)
優(yōu)點(diǎn):
● 低溫灰化過(guò)程
● 易操作
● 裝/卸樣品方便
● 可選擇不同的混合氣體
● 節(jié)省空間
● 注:我們建議使用RV3防爆泵,它具有“專用的油”。


產(chǎn)品參數(shù)

K1050X等離子清洗刻蝕灰化儀

儀器尺寸:450mm W x 350mm D x 300mm H 重量:25Kg
桶形工作腔室:‘Pyrex’160mm L x 110mm Dia.(硼硅酸鹽玻璃作為標(biāo)準(zhǔn)配置)
拉出式抽屜:樣品托盤(pán)為抽拉式
等離子輸出:射頻電源-固態(tài)100瓦,通常操作范圍在25到75 瓦 @ 13.56mhz.
真空測(cè)量范圍:真空顯示ATM - 10-2mbar全刻度-通常操作真空為0.5mbar到1.0mbar
數(shù)字計(jì)時(shí)單元:99.9小時(shí)選擇范圍時(shí)間顯示。在灰化過(guò)程結(jié)束后自動(dòng)終止。
雙氣體流控制:雙氣體針閥控制,可選1或2或兩種氣體
電源:230V 50Hz (包括泵最大電流5 Amp);115V 60Hz(包括泵最大電流10 Amp)
Services: Process Gas at nominal 5 psi, (0.33bar)
真空泵:No. 3 泵 (with a synthetic oil ''''''''''''''''''''''''''''''''Fomblin'''''''''''''''''''''''''''''''' for Oxygen or Corrosive Process Gases.) 2m3/Hr


產(chǎn)品介紹

K1050X等離子清洗刻蝕灰化儀

K1050X等離子處理單元由固態(tài)射頻發(fā)生器結(jié)合調(diào)諧電路組成,同時(shí)兩種處理氣體流量針閥監(jiān)控,全部或部分通氣口控制。
它的腔室為圓柱形,樣品裝載為抽屜式抽拉系統(tǒng),方便使用。
真空系統(tǒng)為旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵或可選用膜片泵作為前***真空的渦輪分子泵。
在真空裝載端口及SEM/TEM中特殊的清潔應(yīng)用時(shí),可方便更換抽屜式抽拉系統(tǒng)。
此系統(tǒng)通常使用氧及氬的混合氣體,氧去除有機(jī)物質(zhì)(碳?xì)浠衔铮瑲鍖?duì)樣品表面進(jìn)行刻蝕。
應(yīng)用:
● 石棉試樣制備
● 有機(jī)材料微觀灰化,煤的灰化
● SEM&TEM中有機(jī)樣品刻蝕
● 去除光刻膠及電子元件中的包膠
● 塑料品的表面處理
● SEM/TEM中的樣品夾清洗

● 煤的灰化




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